工
作
台
金属台尺寸(mm)
1000*800mm
玻璃台尺寸(mm)
920*650mm
运动行程(mm)
800*600mm Z轴升降:150mm(调焦)
电机 三轴运动速度 100mm/s 三维定位精度 0.001mm
测量与瞄准系统(标准配备)
摄影机:索尼忒1/3"彩色CCD摄影机
全自动双焦物镜倍率:0.7~4.5X 工作距离:92mm
视频总倍率:30~190X 物方视场:10.6~1.6mm
X.Y坐标示值误差≤(3 L/75)μm
X.Y.Z光栅尺解析度:0.0005mm
仪器重量
500kg
◆ 照明:表面光源与透射光源均用LED,亮度可调 电源:AC220V/AC110V,50QC,≤100W