高纯金靶材，黄金靶材，Au靶材，5N金靶材，蒂姆新材料

高纯金靶材，黄金靶材，Au靶材，5N金靶材，蒂姆新材料

金靶材，又称黄金靶材由高纯度金锭熔炼制备而成，适用于溅射镀膜、SEM喷金镀膜等，在半导体芯片、MEMS传感器、光电器件、宽禁带半导体、石墨烯等行业领域应用广泛。

1，适用溅射设备品牌

适用设备：单靶溅射系统，双靶溅射系统，JC500型磁控溅射仪，DE300DL 磁控溅射系统

适用设备品牌：

国产品牌：南光机器厂、北京仪器厂、金盛微纳、沈阳科仪、JK-LASKER、微电子所等品牌

进口品牌：美国MRC，CVC、Varian公司等品牌

常规尺寸：贵金属Au靶材.jpg

1.直径：1英寸，2英寸，3英寸，4英寸，5英寸等不同直径

2.厚度：1mm,2mm，3mm，4mm等尺寸可定做

2，适用SEM电镜喷金设备

适用设备：日立JFC-1100和JFC-1600，ETD-2000C等型号

适用设备品牌：LEICA，日立，中科仪等型号

常规尺寸：57*0.1mm；57*0.2mm；58*0.1mm；58*0.2mm等

3，金靶材回收

金靶材溅射打穿后可提供回收再加工服务，提高靶材利用率、科学环保，节省科研成本。

回收详细信息参见“贵金属回收再加工说明”

4，产品详细价格

贵金属金材料均以上海黄金交易所价格为基准。

产品名称规格型号包装单价交货期备注

1.1、金属蒸发镀膜材料

　　铝（Al），铟（In），铅（Pb），铂（Pt），镁（Mg），钼（Mo），锰（Mn），镍（Ni），铌（Nb），硅（Si），铬（Cr），钴（Co），铜（Cu），锗（Ge），金（Au），铪（Hf），银（Ag），铁（Fe），锡（Sn），钛（Ti），钽（Ta），碲（Te），钨（W），锌（Zn），锆（Zr），钪（Sc），镧（La），铽（Tb），镥（Lu），镝（Dy），铒（Er），钕（Nd），镱（Yb），铕（Eu），钇（Y），钆（Gd），铥（Tm），镨（Pr）

1.2、氧化物蒸发镀膜材料

　　氧化铝（Al2O3），氧化钕（Nd2O3），氧化锑（Sb2O3），五氧化二铌（Nb2O5），氧化锡掺锑（ATO），氧化镨（Pr6O11），钛酸钡（BaTiO3），钛酸镨（Pr（TiO2）2），氧化铋（Bi2O3），氧化镨（Pr2O3），二氧化铈（CeO2），氧化钐（Sm2O3），氧化铜（CuO），氧化钪（Sc2O3），氧化铬（Cr2O3），二氧化硅（SiO2），氧化镝（Dy2O3），一氧化硅（SiO），氧化铒（Er2O3），钛酸锶（SrTiO3），氧化铕（Eu2O3），锆酸锶（SrZrO3），氧化钆（Gd2O3），五氧化二钽（Ta2O5），氧化镓（Ga2O3），氧化铽（Tb4O7），氧化锗（GeO2），氧化碲（TeO2），氧化铪（HfO2），氧化钍（ThO2），氧化钬（Ho2O3），氧化铥（Tm2O3），氧化铟（In2O3），二氧化钛（TiO2），氧化铟锡化合物（ITO），一氧化钛（TiO），氧化铁（Fe2O3），五氧化三钛（Ti3O5），四氧化三铁（Fe3O4），三氧化二钛（Ti2O3），氧化镧（La2O3），氧化锡（SnO2），铝酸镧（LaAlO3），一氧化锡（SnO），钛酸铅（PbTiO3），三氧化钨（WO3），锆酸铅（PbZrO3），铌酸铝（LiNbO3），钇铝石榴石（YAG）Y3Al5O12，氧化锂（LiO），三氧化二镱（Yb2O3），钽酸锂（LiTaO3），三氧化二钇（Y2O3），氧化锌（ZnO），氧化镥（Lu2O3），氧化锌掺铝（ZnO：Al），氧化镁（MgO），二氧化锆（ZrO2）（未掺杂），二氧化锰（MnO2），氧化钙稳定二氧化锆（ZrO2-5-15wt％CaO），钛酸镁（MgTiO3），氧化钇稳定二氧化锆（ZrO2掺杂Y2O3），氧化钼（MoO3）。

1.3、氟化物蒸发镀膜材料

　　氟化铝（AlF3），氟化镨（PrF3），氟化钡（BaF3），氟化镁（MgF2），氟化铬（CdF2），氟化钕（NdF3），氟化钙（CaF2），氟化铈（CeF3），氟化钐（SmF3），氟化镝（DyF3），氟化钠（NaF），氟化铒（ErF3），冰晶石（Na3AlF6），氟化铪（HfF4），氟化锶（SrF2），氟化钾（KF），氟化钍（ThF4），氟化镧（LaF3），氟化钇（YF3），氟化铅（PbF2），氟化镱（YbF3），氟化锂（LiF）

1.4、其他蒸发镀膜材料

　　氮化铝（AlN），钛酸镁（MgTiO3），铁酸钡（BaFeO3），氮化铌（NbN），钛酸钡（BaTiO3），锑化铟（InSb），钛酸铋（BiTiO3），钛酸镨（PrTiO3），氮化硼（BN），氮化硅（Si3N4），硫化镉（CdS），碳化硅（SiC），碲化镉（CdTe），钛酸锶（SrTiO3），镀铬钨条，氮化钽（TaN），冰晶石（Na3AlF6），碳化钽（TaC），砷化镓（GaAs），二硼化钛（TiB2），氮化铪（HfN），碳化钛（TiC），硼化铁（FeB），氮化钛（TiN），铝酸镧（LaAlO3），碲化铅（PbTe），碳化钨（WC），六硼化镧（LaB6），铁酸钇（YFe2O3），钽酸锂（LiTaO3），YBC，钛酸镧（LaTiO3），硒化锌（ZnSe），铌酸锂（LiNbO3），碲化锌（ZnTe），硫化铅（PbS），硫化锌（ZnS）

1.5、混合物镀膜材料根据客户的需求进行配制。