小型蒸镀仪

小型蒸镀仪

KT-Z1650DM是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金属进行均匀蒸发沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

控温方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

≤800W

最大输出电压电流

电压≤10V 电流≤80A

真空度

机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa

挡板类型

电控

样品室

石英腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62 （可安装φ50基底）

样品台转速

8转/分钟

样品热源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

≤1600℃

蒸发坩埚容积

3ML

真空法兰

KF25抽气口 KF25扩展口 KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

1 膜厚在线测试 2 分子泵

联系电话：

手机 微信：152 8682 6848

QQ:7

联系人：李工