产品描述:
DRF50单晶硅生长炉
用途:
主要用于二极管单晶硅棒、硅芯原料棒拉制,多晶硅原料的检测。
主要技术参数
DRF-50
拉制晶体直径: Ф3″(Ф80mm)
熔料量 10Kg (10″坩埚)
主炉室内径 850mm
加热方式 石墨电阻加热
籽晶拉速 0.2-8mm/min
籽晶转速 0-30rpm
坩埚升速 0.02-1mm/min
冷炉极限真空度