供应DRF50单晶生长炉

  • 总供应量500
详细信息:

产品描述:

DRF50单晶硅生长炉

用途:

主要用于二极管单晶硅棒、硅芯原料棒拉制,多晶硅原料的检测。

主要技术参数

DRF-50

拉制晶体直径:     Ф3″(Ф80mm)

熔料量         10Kg (10″坩埚)

主炉室内径         850mm

加热方式          石墨电阻加热

籽晶拉速          0.2-8mm/min

籽晶转速          0-30rpm

坩埚升速          0.02-1mm/min

冷炉极限真空度