氩气纯化装置
技术参数:1、处理气量:5 m3/h~300 m3/h
2、工作压力:小于等于0.8MPa
3、氩气来源:液氩.
4、电 源: 380V 50HZ
5、净化效能:
气体
纯度(%)
H2(ppm)
O2(ppm)
CO(ppm)
CO2(ppm)
CH4(ppm)
点(H2O)
原氩
99.9