爱德华EdwardsSTP-IXA3306磁悬浮分子泵维修

1.技术指标

进口：ISO250F

排气：KF40

抽速：2,650 l / s（N2）

压缩比：> 10 ^ 8（N2）

极限压力：1 x 10-9托

重量：176磅

2.特点与优势

•紧凑的设计，包括完全集成的控制器

•创新的自感应磁性轴承系统

•5轴数字控制

•与其他涡轮相比，振动水平降低了50％

•可以配置为运行腐蚀性工艺

应用领域

等离子蚀刻•ECR蚀刻•薄膜沉积•溅射•离子注入

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