SEM电镜兼容原子力显微镜EM-AFM

SEM兼容原子力显微镜

产品简介

EM-AFM 纳米操作系统提供了在SEM电镜中原子力显微镜成像和定量测量纳米力的能力。它可将SEM和AFM这两种显微技术进行联用，提供高速高分辨率的3D形貌成像，以及微纳米和亚纳米尺度纳牛力相互作用的实时观测。

产品特性

· 同步AFM 和 SEM 成像

· 兼容市面上的主流SEM电镜

· 超高分辨率形貌扫描

· 通过纳米压痕定量测量纳米力

· 真空载锁兼容

· 操作稳定性高，不受SEM电子束干扰

规格参数

系统概况

系统尺寸

100x100x35mm

SEM载锁兼容

根据客户需求提供方案

可用环境

SEM真空环境兼容

系统重量

400g+SEM/FIB适配器

样品运动台

运动范围

15x15x5mm

集成编码器

可选

闭环运动分辨率

1nm

运动速度

>45mm/s

小范围扫描器

扫描范围

35x35x5μm

集成编码器

有

闭环分辨率

优于0.2nm

扫描速度

8μm/s

漂移率