TNI纳米操作系统-小尺寸、高精度、易操作

纳米操作机、纳米机械手、纳米操纵机械臂、纳米操纵仪TNI LF-2000

小尺寸：小型化设计，结构紧凑

高精度：纳米级微操作

易操作：XYZ直角坐标，支持PC/遥感操作

产品简介

TNI LF-2000是兼容SEM/FIB的自动化纳米操作系统，也是能够在SEM/FIB下提供可重复定位、低漂移、闭环运动控制定位的纳米操作系统。

TNI LF-2000 is the most automated SEM-based nanomanipulation system on the market. It is the only system that provides repeatable,drift free,closed-loop nano positioning inside SEM.

产品特性

· 兼容主流电镜，不影响电镜功能
· 具有大行程、亚纳米分辨率运动定位性能

· 位移传感器集成自动化和可编程运动
· SEM真空环境优化设计，可快速安装与拆卸

规格参数

系统概况

系统尺寸

127x127x33mm3*

机械手数量

1-4

操作手（宏动）

驱动原理

粘滑驱动

运动范围

XY轴：10mm Z轴：5mm

速度

>3mm/s

最小步长

45μm/s

开环运动分辨率

0.5nm

闭环运动分辨率

1nm

定位漂移率

。